公司介绍
公司核心产品风机过滤单元及空气过滤器的典型应用场景为洁净室，随着半导体芯片关键线宽尺寸缩减，
制程工艺的不断改进迭代，对空气过滤技术不断提出最严苛的要求。
半导体线宽
5纳米制程要求洁净度ISO Class 1
“酸性”气体引起的电路腐蚀问题
“碱性”气体引起的T-topping问题
3499拉斯维加斯官网风机过滤单元大规模应用，见证中国半导体产业成长
技术特点：低噪音、高效率、低能耗运行、群控系统、使用寿命长。
EFU
气态分子污染物控制技术，助力半导体良率提升
随着半导体芯片关键线宽尺寸缩减，制程工艺的不断改进迭代，气态分子污染物AMC ( Airborne Molecular Contamination)的控制技术已经成为半导体良率提升的必要手段。从2005年开始，3499拉斯维加斯官网气态过滤解决方案一直致力服务于中国大陆的晶圆厂。除为客户提供化学滤网产品外，在南京研发中心设有化学实验室，从原材料到成品，对每一阶段进行检验测试，并在产品交付客户现场后，取样验证安装后的浓度达到应用要求，定期回访测试。
板式离子交换纤维
化学过滤器Puro-F
板式改性活性碳
化学过滤器Puro-P
箱式活性炭化学过滤器
Puro-C
单法兰V型离子交换纤维
化学过滤器Puro-V
炭筒
化学过滤器CT
无法兰离子交换树脂
化学过滤器Puro-V
3499拉斯维加斯官网与中国半导体行业共同成长
部分客户案例
中芯国际(上海)14纳米制程公布良率已达业界量产水准
重庆惠科8.6代超高清显示器件线公布良率98.5%
上海微电子光刻设备洁净度ISO Class 1
华星光电G11项目荣获LEED铂金级认证
3499拉斯维加斯官网是首个京东方选用替代国外品牌的供应商
华虹自研突破28纳米剑指14纳米
大规模高速群控系统
监控＞10万台FFU 丨 远端故障反馈＜8秒 丨 兼容交直流风机 丨 兼容多种通讯协议 丨 自动组态技术 丨 无线控制技术 丨 优化矢量脉宽调制低谐波技术
大规模高速群控系统
